VIP člen
Regulátor tloušťky membrány
Stručný úvod: Regulator tloušťky membránu CY-FDC-S je vhodný pro různé příležitosti kontroly tloušťky povlaku, jako je elektronový paprsek, magnetron,
Detaily produktu
Podrobnosti:
Regulátor tloušťky membrány
Technické vlastnosti:
1. Obsluha plně dotykové obrazovky, snadné použití;
2.32Jeden membrán, každý membrán50/100automatické povlakování vrstvy;
3. 12Vstupní signál/12Výstup spínače;
4. Plně automatický, poloautomatický a ruční režim ovládání;
5.Ovládatelné2jeden zdroj, jeden soubor práce druhý soubor předroztoku;
Technické parametry
|
|
Řidič CY-FDC-S |
|
Frekvence krystalů |
6 MHz (volitelný krystal 2,5 m 3 m 5 m 9 m) |
|
Zobrazení |
5" barevný dotykový displej + digitální trubka zobrazení rychlosti a skutečné tloušťky |
|
Způsob provozu |
Dotyková obrazovka |
|
Konečná tloušťka |
00μ0000Å-99μ9999Å |
|
Rozlišení zobrazení tloušťky |
1Å/s |
|
Rozlišení zobrazení rychlosti |
0.1Å/s |
|
Počet vrstev povlaku |
32 membránových systémů, každá membrána je 50/100 vrstev; |
|
Počet sond |
A B |
|
Faktory nástrojů |
0.01-99.99 |
|
Zobrazení času |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
|
Zobrazení výkonu |
0～99.9% |
|
Předtavený výkon |
0～99% |
|
Předpovlakovaný výkon |
0～99.9% |
|
Čas předtavení / čas předpovlakování |
0～99:99 m:s |
|
Čas předtavení izolace Čas izolace |
0～99:99 m:s |
|
Rychlost povlaku (nastavená rychlost) |
0～999.9Å/s |
|
Skladování materiálů |
257+ 10 vlastních |
|
Komunikace |
RS232/RS485 |
|
Kontrolovatelný zdroj odpařování |
Dvě, jedna sada může pracovat druhá sada předběžného roztoku |
|
Ovládání výstupu |
±10V/5V/2.5V |
|
I/rozhraní |
12 vstupů signálu / 12 výstupů spínače |
|
Počet říditelných tižáků |
1 až 16 |
|
Zobrazení povlaku |
Křivka rychlosti/hodnota |
|
Počet pokrytí |
50/100 vrstev automatické |
|
Velikost skříně |
480 × 280 × 89mm (2U 19" pouzdro) |
Speciální funkce:
1Manuální, poloautomatické, automatické3Typ povlakovacího režimu, který splňuje různé konfigurace povlakovacího stroje;
2Umělé zastavení povlaku: umělé zastavení povlaku během povlaku;
3Ruční ovládání: určování požadavků na počáteční proces povlaku;
4Systém přerušení filmu: automatické a poloautomatické povlakování zjistilo problémy nebo poruchy, může zastavit povlak a automaticky uložit současný stav, až po poruše **, může pokračovat v povlakování z systému přerušení filmu;
5Při automatickém nebo poloautomatickém povlaku, pokud selže krystalická vibrace, můžete si vybrat, zda ukončit povlak, povlak podle aktuálního výkonu, pokračovat v přepínání čipu (multi-čipová sonda);
6Dva zdroje současné předtavení: během začátku procesu současné vrstvy povlaku lze vybrat současně2vrstvy jsou předtaveny k uspokojení časově náročných příležitostí;
7Ochrana heslem: funkce ochrany heslem parametrů membránové soustavy a membránové vrstvy, chrání parametry procesu, aby nebyly změněny osobami, které nejsou průmyslovými pracovníky;
8Záznam dat o povlaku: při automatickém nebo poloautomatickém povlaku může systém zaznamenat dobu tvorby fólie pro každou vrstvu a parametry rychlosti konečné tloušťky.
Online dotaz
-
Kontakty
-
Společnost
-
Telefon
-
E-mail
-
WeChat
-
Ověřovací kód
-
Obsah zprávy
-