Přehled aktivní izolační platformy

STACIS ® III je flexibilní aktivní izolační systém. Aktivní izolační platforma STACIS využívá pokročilé senzory inerciálních vibrací, pokročilé řídicí algoritmy a piezoelektrické aktuátory, které filtrují pohyb pozemku nepřetržitým měřením pozemní aktivity a poté rozšiřují a zmírňují piezoelektrické aktuátory, aby odstranily vibrace v reálném čase.

STACIS** byl původně navržen pro izolaci přesných mikrografických, měřicích a testovacích zařízení v pokročilých polovodičových továrnách a nyní se stal průmyslovým standardním řešením pro citlivé přístroje** v hlučných prostředích, včetně, ale nejen, polovodičových továren, laboratoří pro analýzu poruch, výzkumu nanotechnologií, nanovýrobních zařízení a výzkumných center pro materiály.

Aktivní izolační platforma STACIS III zahrnuje zcela nový vylepšený digitální ovladač DC-2020. Nový řídicí systém s novým dvoujádrovým procesorem, Ethernetem a sériovým portem USB na předním a zadním panelu poskytuje uživatelům moderní a snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní (GUI). S stovkami úspěšných instalací po celém světě je STACIS ideálním izolačním systémem pro přístroje citlivé na vibrace**.

Výhody aktivního izolačního platformového systému STACIS III

STACIS je stokrát tvrdší než vzduchová izolace a nemá žádná omezení vzduchové izolace. Nemá „měkké“ zavěšení a na rozdíl od aktivního vzduchového systému může být STACIS umístěn pod nástroj s vnitřním aktivním vzduchovým izolačním systémem, takže oba systémy fungují ve stavu **.

Unikátní sériový design a patentovaná vysokovýkonná piezoelektrická technologie umožňují širokou aktivní šířku pásma 0,6 Hz***150 Hz a aktivní izolaci vibrací o 90 % od 2 Hz**.

Aktivní izolační platforma STACIS III

▪ ** Nový vylepšený digitální ovladač DC-2020 s jednoduchým grafickým uživatelským rozhraním

▪ Izolace začíná při 0,6 Hz a dosahuje izolační míry 40% *** 70% při 1 Hz

▪ Při frekvenci 2 Hz a vyšší, vertikální a vodorovná izolace větší než 90 %

▪ Snížení požadavků na infrastrukturu a nákladů na výstavbu, aby fungovala i s velkými vnějšími vibracemi

▪ Efektivní izolační rozsah od 0,6 Hz do 150 Hz

▪ Získejte široké uznání a uznání od mnoha uživatelů

▪ 6-směrná pevná montáž bez vzduchového zavěšení

▪ Výkonný řídicí systém bez pravidelné recalibrace

▪ Point-of-use řešení pro bezproblémovou kompatibilitu se stávajícími izolačními systémy zákazníka

▪ S změnou vnějšího prostředí se systém automaticky přizpůsobuje různým vnějším vibracím

▪ STACIS od TMC ® Technologie aktivního snižování vibrací pomocí piezoelektrického pohonu

▪ Digitální ovladač a grafické uživatelské rozhraní (GUI) založené na PC

▪ Zvýšení produktivity, kvality a rychlosti výroby zákazníků.

▪ Odpovídá normě RoHS

▪ ** Široká aktivní izolační šířka pásma, nízkofrekvenční izolační efekt **

▪ Aktivní odstranění vibrací s Yaherzovou funkcí **, převážně v pásmu 0,6-6Hz

▪ Stohovatelný design

▪ Aktivní pevná montážní konstrukce místo měkkého zavěšení, bez nízkofrekvenčního odklonu, aktivní prvky připojeny k tuhé pružině

▪ Pasivní pružina filtruje rezonanci zatížení ze snímače STACIS, vyžaduje velmi málo ladit a dokonce žádné ladit

▪ Kompatibilní s vnitřním izolátorem přístroje kvůli neshodě impedance

▪ Zatížení až 2000 kg

▪ Aktivní izolační systémy na trhu**

Výkon aktivní izolační platformy

Testování užitečného zatížení 4 500 liber (2 045 kg) pomocí simulace vibrací VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS)

Specifikace aktivní izolační platformy

Specifikace výkonu

Uživatelé a aplikace STACIS

1. mikroelektronika, polovodiče

▪ Detekce čipu

▪ Mikrografie

▪ Kalibrace masky

Vědecký výzkum, nanotechnologie

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. laserová stanice

▪ Vědy o životě a vývoj léků

4 Průmyslové aplikace

▪ Přesné obrábění

Proč si vybrat aktivní izolační systém?

▪ Silné odstranění vibrací od < 1Hz, pneumatická plošina nemůže hrát účinnou izolaci vibrací při této nízké frekvenci

▪ Zvýšení kvality a produktivity

▪ Snímková schopnost s menšími funkcemi

▪ Nejmodernější výzkum

▪ Stabilnější než pneumatická plošina

▪ ** Řešení pro splnění standardních parametrů instalace na místě SEM

▪ Snížení nákladů na nové laboratorní a výzkumné zařízení

Proč aktivní izolační systémy STACIS

▪ Je to hlas vědců, který poskytuje co nejvíce *** netřeseného prostředí.

▪ ** Silný nízkofrekvenční izolační systém na trhu.

▪ V současné době všichni výrobci SEM zveřejnili požadavky na instalační parametry, které požadují vibrační parametry, které musí být splněny aktivním izolačním systémem.

▪ STACIS** byl vynalezen v 90. letech minulého století a TMC dále vyvinula, vyvinula a instalovala tisíce aktivních izolačních systémů jako spolehlivé řešení pro aktivní regulaci vibrací.

STACIS je stovenkrát tuhší než pneumatické izolátory

Stabilní doba v reakci na rušení, která je výrazně zkrácena díky unikátnímu sériovému designu, je ideální pro výrobu strojů, dynamická zatížení, lasery nebo samostatné tuhé plochy, které vyžadují instalaci světelného zdroje.

Následující výhody jsou v oboru **

▪ Aktivní izolační šířka pásma STACIS 0,6 Hz - 150 Hz

▪ 6 stupňů svobody pro aktivní odstranění vibrací s intervalem vibrací 8-10dB při 1 Hz

▪ Od 2-3Hz je izolace až 90% (20dB)

Profesionální environmentální průzkum

Environmentální průzkum před a po instalaci, včetně vibrací, magnetického pole a zvukových vln

Po instalaci lze poskytnout certifikaci systému životního prostředí

▪ Vynikající environmentální průzkumné služby

▪ Vytváření environmentálních zpráv

▪ Poskytuje detekci vibrací, magnetických polí a zvukových vln a řešení

▪ TMC doporučuje uživatelům praktické řešení na základě svých rozsáhlých zkušeností

▪ Více než 40 let zkušeností v oboru **

Aplikovat fotografie